2011年3月3日，國家科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》“十一五”成果發(fā)布暨采購簽約儀式在北京飯店隆重舉行。全國政協(xié)副主席、國家科技部部長萬鋼出席會議并作重要講話。會議由專項第一行政責任人上海市副市長沈曉明主持，專項第一行政責任人北京市副市長茍仲文介紹專項“十一五”主要成果及“十二五”組織實施措施。出席會議的還有北京市委常委趙鳳桐、中國半導體行業(yè)協(xié)會理事長江上舟、02專項總體專家組組長葉甜春、工信部電子信息司副司長丁文武及科技部、工信部、財政部、海關總署、稅務總局等部局領導。公司董事長王福祥、副董事長兼總工程師孫江燕、第一副總經(jīng)理呂海波應邀參加了會議。
會上中芯國際與大唐微電子等集成電路設計企業(yè)、與中微半導體等集成電路裝備、材料企業(yè)簽訂采購合作協(xié)議；長電科技與上海新陽半導體等集成電路裝備企業(yè)簽訂采購合作協(xié)議；通富微電公司與銅陵三佳科技等企業(yè)簽署合作協(xié)議。上海新陽獲得了長電科技與通富微電公司的“高速自動電鍍線”設備采購合作協(xié)議，與中芯國際就“銅互連電鍍液”簽署了采購合作意向書。
《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》國家科技重大專項是我國《國家中長期科學和技術發(fā)展規(guī)劃綱要》16個科技重大專項中的02專項，該專項旨在開發(fā)極大規(guī)模集成電路關鍵制造裝備，掌握具有自主知識產(chǎn)權的成套先進工藝及相關新材料技術，打破我國高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進口的現(xiàn)狀，帶動相關產(chǎn)業(yè)的技術提升和結(jié)構調(diào)整。 據(jù)統(tǒng)計，“十一五”期間，國家為該專項投入資金超過80億元，已啟動58項，其中裝備整機15項，成套工藝11項，關鍵技術與零部件12項，關鍵材料13項，前瞻性研究7項。全國有18個省、29個市的133家單位參與。目前，“02專項”累計申請專利4200多件，獲得一系列技術和產(chǎn)業(yè)化突破；在制造環(huán)節(jié)，有35種裝備、材料陸續(xù)進入或已經(jīng)通過大生產(chǎn)線驗證；而在封裝環(huán)節(jié)，23種裝備和8種材料已通過大生產(chǎn)驗證。此次會議的召開標志著02科技重大專項取得了重要的階段性成果，項目承擔單位所開發(fā)的設備與材料實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，這對于我國實施極大規(guī)模集成電路制造關鍵設備、材料國產(chǎn)化及各個設備材料供應商來講都具有重要的里程碑式的意義。
上海新陽的“高速自動電鍍線”從2009年1月份立項，歷時兩年，在重大專項辦和政府相關部門的指導和支持下已經(jīng)順利完成，得到項目組和長電科技、通富微電的一致認可，目前已經(jīng)在使用單位投入大規(guī)模生產(chǎn)。在3月2日中國半導體市場年會上，該項目被中國半導體行業(yè)協(xié)會、中國電子材料行業(yè)協(xié)會、中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會、中國電子報社評為“第五屆(2010年度)中國半導體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術”。此次國家牽頭組織的“成果發(fā)布暨采購簽約儀式”對新陽具有里程碑式的意義，專項的實施提升了上海新陽科技攻關水平、綜合管理能力，增強了“新陽人”的自豪感，極大地推動了“新陽”品牌建設，擴大了公司在國內(nèi)國外市場的影響力和知名度。
萬鋼部長指出：“集成電路產(chǎn)業(yè)是戰(zhàn)略性、基礎性、先導性支柱產(chǎn)業(yè)，是掌握著國民經(jīng)濟發(fā)展和全球信息化競爭的主導型的關鍵產(chǎn)業(yè)，是當今信息時代國家綜合實力和國家競爭力的重要標志。培育和發(fā)展具有綜合實力和核心競爭力的集成電路制造業(yè)是發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)的關鍵，也是實施02科技重大專項最重要的使命。近年來，我國集成電路每年的進口額都超過1200億美元，比石油進口額還要多，是我國最大宗的進口物資?！笨梢?，我國集成電路產(chǎn)業(yè)的整體技術水平和綜合實力與國外先進國家與地區(qū)相比還有很大差距，我們還有很大的發(fā)展空間，尤其是在高端裝備制造、工藝和材料方面的發(fā)展空間還很大。
上海新陽作為我國集成電路設備、材料領域的“國家隊”成員，將努力專注于集成電路產(chǎn)業(yè)高端材料、設備的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，開拓更廣闊的市場，滿足客戶更多需求，新陽的發(fā)展前途不可限量，她正如一輪紅日冉冉升起，寄托著希望，推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展走向遠方。
